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          p2b-半導體應用流程

          來源:華濾環保_液體過濾解決方案 發布時間:2015-09-29 15:39:53

          典型應用A:化學品過濾

          在半導體制造中化學品過濾,主要有兩個方面的挑戰,首先是過濾材料對化學品的適應能力,不得當的材料選擇,會造成重大的質量事故,而用于半導體的化學品多為強酸、強堿和一些腐蝕性極強的物料,所以包括過濾容器在內,多使用PVDF(聚偏氟乙烯)和PTFE(聚四氟乙烯)材料。另外一個方面就是對精度的挑戰也達到了極限,0.04/0.1/0.22μm的過濾是經常被使用的,而且其去除效率要達到99.9999%,而且在極端條件下的COD析出值也要控制在ppb等級。

          由于潔凈度的高要求,就在化學品的轉運的沒個環節幾乎都安排了過濾器,在供應商運送物料的槽車上,在輸送的管路上;到每一個使用設備的進料口,都嚴格按要求提供。


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